| Класс чистоты | Чистота | Примеси [ppm] | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 01 Чистые газы | |||||||||||||
| Азот 5.0 | ≥99.999% | 5 | 7 | 2 | - | - | - | 3 | |||||
| Азот 5.5 | ≥99.9995% | 2,5 | 2 (-71°С) | 0,3 | 0,2 | 0,2 | 0,25 | - | |||||
| Азот 6.0 | ≥99.9999% | 0,65 | 2 (-71°С) | 0,1 | 0,3 | 0,1 | 0,2 | - | |||||
| Азот калибровочный | ≥99.999% | 5 | 7 | 2 | - | - | - | 3 | |||||
| Азот ПНГ | ≥99.999% | 5 | 7 | 2 | - | - | - | 3 | |||||
| Аммиак (NH3) | |||||||||||||
| Аммиак 6.0 | ≥99,9999% | 1 | 0,2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 0,5 | |||||
| Аргон (Ar) | |||||||||||||
| Аргон 4.8 | ≥99,998% | 2 | 10 | 0,3 | 1 | 2 | 3 | - | - | - | |||
| Аргон 5.0 | ≥99,999% | 3 | 6 | 0,5 | 0,5 | - | 3 | - | - | - | |||
| Аргон 5.5 | ≥99,9995% | 1,5 | 2 | 0,2 | 0,2 | 0,8 | 3 | - | - | - | |||
| Аргон 6.0 | ≥99,9999% | 0,3 | 0,3 | 0,1 | 0,1 | 0,2 | 2 | - | - | - | |||
| Аргон 7.0 | ≥99,99999% | 30 ppb | - | 30 ppb | - | 30 ppb | 50 ppb | 30 ppb | 30 ppb | 1 ppb | |||
| Ацетилен (C2H2) | ≥99,5% | ||||||||||||
| Ацетилен марки А | ≥99,5% | 5000 | 5 | 20 | 4000 | ||||||||
| Бромоводород (HBr) | ≥99,999% | ||||||||||||
| Бромоводород 5.0 | ≥99,999% | 1 | 2 | 5 | 1 | 1 | 1 | 1 | |||||
| изо-Бутан (i-C4H10) | |||||||||||||
| изо-Бутан 3.0 | ≥99,9% | 10-27 | 4-28 | 140-180 | 16-43 | 40-69 | |||||||
| изо-Бутан 3.5 | ≥99,95% | 7,5-10 | 1,5-4 | 17-140 | 4-16 | 14-40 | |||||||
| изо-Бутан 4.5 | ≥99,995% | 7,5 | 1,5 | 17 | 4 | 14 | |||||||
| н-Бутан (n-C4H10) | |||||||||||||
| н-Бутан 3.0 | ≥99,9% | 2.5-152 | 10-153 | 65-300 | - | 10000 | 10000 | 2500 | 2500 | ||||
| н-Бутан 3.5 | ≥99,95% | 2.5 | 10 | 65 | 1 | 70 | 30 | 70 | 20 | ||||
| Водород (H2) | |||||||||||||
| Водород 4.0 | ≥99,99% | 50 | 50 | 2000 | |||||||||
| Водород 5.0 | ≥99,999% | 2 | 8 | 10 | |||||||||
| Водород 6.0 | ≥99,9999% | 0,2 | 0,8 | 2 | |||||||||
| Водород 7.0 | ≥99,99999% | 0,02 | 0,08 | 0,5 | |||||||||
| Гелий (He) | |||||||||||||
| Гелий 4.5 (А) | ≥99,995% | 1 | 5 | 1 | 2 | 40 | 1 | 5 | |||||
| Гелий 5.0 | ≥99,999% | 1 | 2 | 0,2 | 1 | 5 | 0,5 | 5 | |||||
| Гелий 5.5 | ≥99,9995% | 0,5 | 2 | 0,3 | 0,5 | 1 | 0,2 | 3 | |||||
| Гелий 6.0 | ≥99,9999% | 0,15 | 0,45 | 0,05 | 0,01 | 0,15 | 0,01 | 2 | |||||
| Гелий 7.0 | ≥99,99999% | 0,01 | 0,05 | 0,01 | 0,005 | 0,015 | 0,005 | 0,1 | |||||
| Диметиловый эфир (C2H6O) | |||||||||||||
| Диметиловый эфир 4.0 | ≥99,99% | 50 | 1 | 1 | 10 | ||||||||
| Диоксид азота (NO2) | |||||||||||||
| Диоксид азота 3.0 | ≥99,9% | 2000 | 1200 | 20 | 1000 | ||||||||
| Дихлорсилан (SiH2Cl2) | |||||||||||||
| Дихлорсилан 5.0 | ≥99,9999% | 1 | 1 | 1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 1 | 0,1 | 1 | 1 | ||
| Закись азота (N2O) | |||||||||||||
| Закись азота 5.0 | ≥99,999% | 4 | 5 | 2 | 0,5 | 3 | 2 | - | |||||
| Закись азота техническая | ≥99,5% | 250 | 25 | 5 | 0,5 | - | - | 9000 | |||||
| изо-Бутилен (i-C4H8) | |||||||||||||
| изо-Бутилен чистый | ≥99,95% | 50 | 100 | 50 | 250 | ||||||||
| Кислород (O2) | |||||||||||||
| Кислород 3.5 | ≥99,95% | 450 | 20 | 20 | 20 | ||||||||
| Кислород 5.0 | ≥99,999% | 7 | 1 | 1 | 7 | ||||||||
| Кислород 6.0 | ≥99,9999% | 0,6 | 0,1 | 0,15 | 1 | ||||||||
| Криптон (Kr) | |||||||||||||
| Криптон 6.0 | ≥99,9999% | 0,02 | 0,1 | 0,05 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,2 | |
| Ксенон (Xe) | |||||||||||||
| Ксенон 6.0 | 0,05 | 0,2 | 0,05 | 0,01 | 0,01 | 0,05 | 0,03 | 0,05 | 0,01 | 0,2 | 0,01 | 0,01 | |
| Метан (CH4) | |||||||||||||
| Метан 4.0 | ≥99,99% | - | - | - | 100 | 300 | - | - | - | - | - | - | |
| Метан 5.5 | ≥99,9995% | 0,5 | 5 | 1 | - | 1 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 1 | 1 | 1 | |
| Метан 6.0 | ≥99,9999% | 0,3 | 0,5 | 0,1 | - | 1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Монооксид углерода (CO) | |||||||||||||
| Монооксид углерода 3.0 | ≥99,9% | 172 | 56 | - | - | - | - | 9 | |||||
| Монооксид углерода 4.0 | ≥99,99% | 3 | 60 | 3 | 25 | 1 | 1 | 5 | |||||
| Моносилан (SiH4) | |||||||||||||
| Моносилан 4.4 | ≥99,994% | 50 | 2 | 5 | 1 | 1 | 1 | 1 | - | 10 | 0,001 | ||
| Моносилан 5.0 | ≥99,999% | 10 | 1 | 5 | 0,1 | 0,1 | 1 | 1 | 0,1 | 1 | 0,001 | ||
| Моносилан 5.5 | ≥99,9995% | 1 | 1 | 1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 1 | 0,1 | 1 | 0,001 | ||
| Неон (Ne) | |||||||||||||
| Неон 5.0 | ≥99,999% | 0,5 | 1 | 1 | 2 | 0,5 | 0,1 | 0,8 | 0,5 | ||||
| Неон 6.0 | ≥99,9999% | 0,05 | 0,2 | 0,05 | 0,1 | 0,05 | 0,05 | 0,2 | - | ||||
| Оксид азота (NO) | |||||||||||||
| Оксид азота 3.0 | ≥99,9% | 400 | 200 | 2 | |||||||||
| Оксид этилена (C2H4O) | |||||||||||||
| Оксид этилена 2.0 | ≥99,0% | 10 | 10 | 100 | |||||||||
| Пропан (C3H8) | |||||||||||||
| Пропан 3.0 | ≥99,9% | - | - | - | - | 50 | 20 | 50 | 900 | 20 | |||
| Пропан 3.5 | ≥99,95% | 14-150 | 100-200 | 20-50 | 5 | 10 | - | - | - | 1 | |||
| Пропан 4.0 | ≥99,99% | 14 | 100 | 20 | 5 | - | - | - | - | - | |||
| Пропилен (C3H6) | |||||||||||||
| Пропилен 2.5 | ≥99,5% | 57 | - | - | - | - | 0,1 | 31 | - | ||||
| Пропилен 3.5 | ≥99,95% | 4 | 0.5 | 400 | 2 | 3 | - | - | - | ||||
| Сернистый ангидрид (SO2) | |||||||||||||
| Сернистый ангидрид 2.8 | ≥99,8% | 100 | - | ||||||||||
| Сернистый ангидрид 3.0 | ≥99,9% | 100 | 25 | ||||||||||
| Сероводород (H2S) | |||||||||||||
| Сероводород 2.5 | ≥99,5% | 500 | |||||||||||
| Тетрахлорид кремния (SiCl4) | |||||||||||||
| Тетрахлорид кремния 4.5 | ≥99,995% | 1 | 1 | 1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 1 | 0,1 | 1 | 0,001 | ||
| Трифторид азота (NF3) | |||||||||||||
| Трифторид азота 4.5 | ≥99,995% | 4 | 0,5 | 25 | 10 | 2 | 6 | 1 | 1 | 1 | |||
| Трихлорид бора (BCl3) | |||||||||||||
| Трихлорид бора 5.0 | ≥99,999% | 2 | 2 | 5 | 1 | 0,5 | 1 | 3 | |||||
| Диоксид углерода (CO2) | |||||||||||||
| Диоксид углерода 4.0 | ≥99,99% | - | - | 5 | 2 | 80 | - | 10 | |||||
| Диоксид углерода 4.5 | ≥99,995% | - | - | - | 5 | 40 | 5 | 10 | |||||
| Диоксид углерода 5.0 | ≥99,9999% | 2 | 5 | 1 | 1 | - | - | 2,5 | |||||
| Диоксид углерода 5.3 | ≥99,9993% | 1 | 3 | 1 | - | - | - | 3 | |||||
| Диоксид углерода пищевой | ≥99,8% | - | - | - | - | - | - | 50 | |||||
| Хлор (Cl2) | |||||||||||||
| Хлор 5.0 | ≥99,999% | 2 | 1 | 4 | 2 | 1 | |||||||
| Хлороводород (HCl) | |||||||||||||
| Хлороводород 3.0 | ≥99,9% | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 1000 | 1000 | - | |||||
| Хлороводород 5.0 | ≥99,999% | 2 | 1 | 1 | 5 | 1 | 2 | 1 | |||||
| Элегаз (SF6) | |||||||||||||
| Элегаз 4.6 | ≥99,996% | 21 | 5 | 1,6 | - | ||||||||
| Элегаз 5.0 | ≥99,999% | 4 | 3 | 0,22 | 0,6 | ||||||||
| Этан (C2H6) | |||||||||||||
| Этан 3.0 | ≥99,9% | 250 | 100 | 130 | 20 | 20 | |||||||
| Этилен (C2H4) | |||||||||||||
| Этилен 3.0 | ≥99,9% | 400 | 300 | 20 | |||||||||
| Этилен 3.5 | ≥99,95% | 280 | 150 | 5 | |||||||||
| Пентан (C5H12) | |||||||||||||
| Тетрафторметан (CF4) | |||||||||||||
| Тетрафторметан 5.0 | ≥99,999% | 2 | 5 | 1 | 1 | 1 | |||||||