Моносилан | Силан, силан ВЧ, водородистый кремний, гидрид кремния

Получить дополнительную консультацию по товару и обсудить ваш заказ вы можете, позвонив по телефону или оформив заявку:
+7 (495) 128-07-58
Чистота

Класс чистоты

Чистота

Примеси [ppm]

 

 

Ar

O2

CO2

CO

Хлорсиланы

He

Дисилан

Моносилан 6.0

≥99.9999%

≤0.05

≤0.06

≤0.05

≤0.05

≤0.15

≤1

≤0.5

Моносилан 5.0

≥99.999%

≤1

≤0.1

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤5

 

 

 

H2

CH4

N2

H2O

Дисилоксан

Метилсилан

Уд. сопротивлене

Моносилан 6.0

99.9999%

≤20

≤0.05

≤1

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≥10000 ом-см

Моносилан 5.0

≥99.999%

≤100

≤0.5

≤5

≤2

≥7500 ом-см

Кодировка вещества
7803-62-5
2203

Тип баллонов

1-10 литров

11-20 литров

40-50 литров

Алюминиевые

Моноблоки

Другая тара



 

 

 

Характеристика

Представляет собой бесцветный газ с неприятным запахом, самовоспламеняется на воздухе, реагирует с водой, не растворяется в этаноле и бензоле.

Получение

Силан (моносилан) получают реакцией силицида магния с разбавленными кислотами (лучше - фосфорной). Другой способ — реакция тетрахлорида кремния и тетрагидроалюмината лития.

Применение
  • Силан (моносилан) применяется в основном в производстве полупроводников как источник кремния.
  • При прочих химических реакциях как источник водорода.
  • При изготовлении кристаллических и тонкоплёночных фотопреобразователей на основе кремния, ЖК-экранов, подложек и технологических слоёв интегральных схем.
Получить дополнительную консультацию по товару и обсудить ваш заказ вы можете, позвонив по телефону или оформив заявку:
+7 (495) 128-07-58